1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com




Скачать 147.45 Kb.
Название1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com
страница1/3
Дата публикации04.10.2013
Размер147.45 Kb.
ТипДокументы
vbibl.ru > Химия > Документы
  1   2   3

Улучшение топологии стандартных ячеек субмикронных СБИС для повышения выхода годных


К.С.Муханов2, M.A.Сотников1, Э.А.Улуханов1

1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M.Sotnikov@freescale.com

2 Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН




Аннотация — Повышение выхода годных в процессе синтеза топологии – одна из актуальных задач. В данной статье рассмотрена проблема автоматического улучшения качества топологии стандартных ячеек с точки зрения выхода годных. Предложен эффективный алгоритм, позволяющий учитывать приоритизированные рекомендуемые правила без увеличения площади топологии. Кроме того, предложен алгоритм вставки дополнительных контактов к слоям диффузии, поликремния и металла. Экспериментальные результаты подтверждают эффективность разработанных алгоритмов.

^

I. Введение


В настоящее время увеличение процента выходa годных СБИС приобретает все более важное значение. Традиционно, за выход годных несла ответственность фабрика, производящая кристаллы, а разработчикам достаточно было выполнять только технологические требования. В современных технологиях, начиная с 90нм, традиционные методы перестали работать и сейчас выход годных надо учитывать на всех этапах проектирования топологии. На этапе синтеза топологии необходимо выполнять как минимальные топологические нормы, так и множество рекомендуемых правил (в зарубежных публикациях они относятся к категории "Design for Manufacturing" – DFM [1],[6]). Данные правила не являются обязательными, а рассматриваются как рекомендуемые, т.е. они применяются, когда это не увеличивает площадь топологии. Каждое такое правило имеет свой приоритет в зависимости от влияния на выход годных [2].

О важности учета DFM правил говорит тот факт, что только 1% снижения выхода годных при изготовлении СБИС на 300мм кремниевых пластинах приводит к дополнительным затратам на одной фабрике производителя в размере 5 млн. долларов в год [3].

Особенно актуальной задачей является DFM улучшение библиотек стандартных ячеек, так как стандартные ячейки многократно повторяются на кристалле и могут применяться в различных проектах. Кроме того, стандартные ячейки характеризуются высокой плотностью фигур и как следствие высокой чувствительностью к дефектам, описанным ниже.
^

II. Проблема выхода годных


A. Классификация дефектов

Дефекты, приводящие к снижению выхода годных и надежности СБИС, можно разделить на три класса [1]:

Случайные дефекты (Random (statistical) yield) –возникают в результате попадания внешних частиц и приводят к замыканиям или разрывам цепей. Они давно известны и широко изучены.

^ Систематические дефекты (Systematic yield) – возникают вследствие несовершенства процесса производства и являются предсказуемыми. В качестве примера можно привести проблемы фотолитографии, когда необходимо сделать фигуры, размер которых меньше длины волны.

^ Параметрические дефекты (Parametric yield) – возникают вследствие изменения параметров приборов в процессе производства. В предельных случаях это приводит к неправильному функционированию кристалла.

Начиная с 90нм, систематические дефекты играют доминирующую роль и являются основной причиной низкого выхода годных. Данная работа нацелена на снижение влияния систематических дефектов при разработке топологии стандартных ячеек.

Б. Обзор DFM правил

Один из широко применяемых методов уменьшения числа систематических дефектов опирается на применение специальных DFM правил, которым присвоены приоритеты [2].

DFM правила можно разделить на две группы:

  • обычные технологические правила, величина которых увеличена на 10-30%. К ним относятся увеличенные правила минимального размера, расстояния, включения, нависания, площади и т.д.

  • правила, которые требуют наличия дополнительных (дублирующих) объектов в топологии, например, дополнительных межслойных переходов.

Примеры DFM правил приведены на рис. 1.



^ Рис. 1. Примеры DFM правил

В. DFM метрика

Для эффективного применения DFM правил необходимо наличие метрики, которая позволит оценить качество топологии с позиции выхода годных. Для этого применяется "индекс реализуемости" (Manufacturability Index: MI [5]), который вычисляется по формуле:

(1)

где, Weight – значимость каждого правила по его влиянию на выход годных, а ViolationNumber – количество нарушений данного правила в топологии.

Необходимо отметить, что сам факт наличия метрики более важен, чем ее точность [4]. Наличие такой метрики позволит сравнить разные версии одной топологии с точки зрения выхода годных, что делает возможным применение автоматических методов улучшения топологии.

Г. Подходы к улучшению выхода годных.

В настоящее время широкое распространение получили программы, позволяющие разработчикам СБИС анализировать качество топологии и предсказывать ожидаемый выход годных. Эти программы позволяют находить места с наибольшей плотностью нарушений, показывать нарушения DFM правил и возможность их исправления.

Также широко применяются алгоритмы, позволяющие повысить выход годных за счет вставки дополнительных межслойных переходов [3] после создания межсоединений на блочном уровне.

В то же время, наблюдается недостаток алгоритмов, позволяющих автоматически применять DFM правила на уровне транзисторов, где количество таких правил максимально, а их взаимодействия сложны. Особенно актуальна автоматическая обработка стандартных ячеек, топология которых отличается высокой плотностью.
  1   2   3

Добавить документ в свой блог или на сайт

Похожие:

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconНовые решения Freescale Semiconductor для встраиваемых систем управления и сбора информации

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconКассационное определение
Ооо "Форестдейл", ООО "ингеоком мсф", ООО "игк холдинг", ООО "Оптима", зао "Центурион", ООО "Эспрессо-Центр", ООО "Партнер Контакт",...

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconТехническое задание на закупку периодических изданий на 2-е полугодие...
Потребители услуг, от имени и за счет которых выступает ООО «дтэк сервис»: ООО «дтэк», ООО «дтэк нефтегаз», ООО «дтэк трейдинг»,...

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconТехническое задание на покупку услуг по курьерской доставке документов...
Потребители услуг, от имени и за счет которых выступает ООО «дтэк сервис»: ООО «дтэк», ООО «дтэк нефтегаз», ООО «дтэк трейдинг»,...

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconПротокол согласования разногласий к договорам №1135/сд от «10» июня...
Между ООО «Торговый дом оптнефтепродукт» и ООО «Мегатранс», ООО «ТрансКонтинент», ООО «ТрансЛогистик»

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconОоо «Данн» (ооо сп «Газпромнефть-ап»)
Представляет из себя сеть заправок по г. Твери под брэндом (управляющая компания) ООО «Концерн Европа»

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconОоо «Барнаульский водоканал»
Малых Александр Ефимович (в структуре работы ООО «Росводоканал» задействовано девять регионов России, в том числе и Краснодарский...

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconОтчет ООО «квк» по работе с молодыми кадрами
Ооо «квк» была создана в 2002 году, под руководством директора Языкова Степана Владимировича ООО «квк» входит в состав холдинга зао...

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconСправка по делу ООО «данн»
Ооо «Гратис Сервис» обратилось с заявлениями о возбуждении уголовного дела в отношении руководителей ООО «данн» по ст. 159 ч. 3 (мошенничество)...

1 1 ООО «Фрискейл Семикондактор», M. Sotnikov @ freescale com iconЯрдизель Сервис", ООО "
Являясь официальным торговым представителем компании ООО "Ярдизель Сервис", ООО "марко" предлагает все двигатели, запасные части...

Вы можете разместить ссылку на наш сайт:
Школьные материалы


При копировании материала укажите ссылку © 2013
контакты
vbibl.ru
Главная страница